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安川變頻器應用于半導體真空泵行業
2024-02-15 00:19:27

半導體是指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料。我們日常生活中的電子產品,如計算機、移動電話等當中的核心單元都和半導體有著極為密切的聯系。

在半導體制造的多個工藝環節中,包括刻蝕、鍍膜等等。為了提高半導體制造過程的精度和均勻性,半導體工藝必須在極度受控的真空環境中運行。而獲得真空環境所需的設備即為真空泵。

今天要給大家介紹的是安川變頻器產品在真空泵設備中的應用。


半導體用干式真空泵設備
半導體成膜工藝


半導體用真空泵一般容易存在啟動、加速響應慢,抽速不夠穩定;運行效率不高;開放大氣時易發生過載、過流故障而停機;面對雷雨季節及供電環境不好時,易因瞬時停電或電壓暫降而造成真空泵停機,造成半導體生產損失。


采用安川變頻器后設備的特性


1.穩定性
高響應性,抗沖擊負載能力強,使真空泵穩定運行。

2.高啟動轉矩
轉矩極限可根據速度切換,使泵在啟動及加速過程更快,更穩定。

3.高效性
應對半導體不同工藝,通過專用功能,防止過載前提下保證真空泵高效運行。

4.節能
可高效、穩定驅動配置PM電機的真空泵,更加節能。

5.高信賴性
即使發生瞬時停電或電壓暫降,可使真空泵保持輸出,電壓恢復后繼續運行。




安川變頻器在國內外的真空泵設備上廣泛應用,業內知名度高。能夠使半導體用真空泵在不同的半導體工藝下,穩定、高效運行,滿足客戶需求。
以上是關于真空泵行業的案例介紹。除此之外,安川也會根據客戶的需求提供定制化的方案與服務,敬請期待。

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